四大廠商分列兩大陣營(yíng) FinFET與FD-SOI各有支持者
格羅方德(GLOBALFOUNDRIES)落戶成都,并宣布將以格芯作為FD-SOI工藝生產(chǎn)中心,再度引發(fā)半導(dǎo)體技術(shù)圈對(duì)FinFET與FD-SOI工藝的爭(zhēng)論。
FinFET與FD-SOI各有支持者
先進(jìn)邏輯工藝自28納米節(jié)點(diǎn)分野之后,F(xiàn)inFET與FD-SOI工藝的爭(zhēng)論就開(kāi)始出現(xiàn)。兩大工藝均家支持者,英特爾與臺(tái)積電是FinFET路線的堅(jiān)定支持者,二者目前均無(wú)發(fā)展FD-SOI工藝的計(jì)劃。
此前曾傳言,臺(tái)積電近期也計(jì)劃發(fā)展FD-SOI工藝,但在2016年ICCAD期間,臺(tái)積電南京總經(jīng)理羅鎮(zhèn)球,否認(rèn)了這一傳言。羅鎮(zhèn)球說(shuō):“我們一直覺(jué)得FDSOI是一個(gè)暫時(shí)的產(chǎn)物。在CMOS領(lǐng)域一直往下走,功耗一直降低,速度一直提升。FDSOI我們沒(méi)有要做,經(jīng)過(guò)多次評(píng)估,一看再看,覺(jué)得FD-SOI我們不會(huì)做。它做不贏我們的FinFET?!?/p>
羅鎮(zhèn)球表示FD-SOI工藝只是一個(gè)過(guò)渡產(chǎn)物。“我們?cè)u(píng)估過(guò)很多次,一看再看,還是覺(jué)得我們不會(huì)做FD-SOI。”羅鎮(zhèn)球指出,無(wú)論是技術(shù)指標(biāo)還是經(jīng)濟(jì)規(guī)模,F(xiàn)D-SOI工藝都不占優(yōu)?!癋D-SOI一是技術(shù)不占優(yōu),一是經(jīng)濟(jì)規(guī)模不夠,兩條加起來(lái)那條路就很難走,而且FD-SOI的成本也不低,SOI硅片就比普通硅片貴很多”。
目前全球四大半導(dǎo)體代工廠中的兩家——三星及格羅方德——已經(jīng)宣布計(jì)劃量產(chǎn)并采用FD-SOI晶圓進(jìn)行多項(xiàng)試產(chǎn)(即tape-out,指硅芯片從設(shè)計(jì)到制造的這一步驟)也是FD-SOI工藝的堅(jiān)定支持者。
如今,全球有三家位于三大洲的公司能夠供應(yīng)FD-SOI晶圓,包括法國(guó)Soitec、日本信越半導(dǎo)體(SHE)、美國(guó)SunEdison。這三家公司均采用了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的SOI晶園制造技術(shù),智能剝離(SmartCut?)。
法國(guó)Soitec已實(shí)現(xiàn)FD-SOI晶園的高良率成熟量產(chǎn),其300mm晶圓廠能夠支持28nm、22nm及更為先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)上大規(guī)模采用FD-SOI技術(shù)。
不過(guò)SOI硅片一直無(wú)法壓低成本,目前8英寸的SOI硅片每片要300-400美元,而通常的硅片每片才30-40美元,相差十倍。因此估計(jì)SOI代工硅片價(jià)格應(yīng)該在每片1000美元左右,而中國(guó)的代工廠,8英寸硅片平均代工價(jià)格在每片約400美元。
目前中國(guó)的FD-SOI技術(shù)尚沒(méi)有實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)階段,IC設(shè)計(jì)公司可能尚處在多任務(wù)硅片MPW的設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段。對(duì)于大陸SOI產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展需要政府部門(mén)牽頭,制定規(guī)劃,并引導(dǎo)與資金支持,目前階段不可能單靠單一廠家解決所有問(wèn)題。
來(lái)源:DIGITIMES
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