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北方華創(chuàng)一次收到三項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金近兩億元

2017年5月17日，北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司發(fā)布公告，北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司及全資子公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司收到北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)通過北京電子控股有限責(zé)任公司撥付的國(guó)家科技重大專項(xiàng)"14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金9,423.00萬(wàn)元、"28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化" 項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金4,811.00萬(wàn)元及"14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金4,746.00萬(wàn)元，詳細(xì)情況如下：

一、 各項(xiàng)目情況

1. "14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目

根據(jù)"極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝"專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專項(xiàng)2014年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)及落實(shí)地方配套經(jīng)費(fèi)的通知》【ZX02[2014]018號(hào)】及其附件，北方華創(chuàng)微電子承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)"14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目執(zhí)行期四年（2014年-2017年），項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金金額合計(jì)123,492.06萬(wàn)元，其中，中央財(cái)政核定資金總額39,147.34萬(wàn)元，地方政府配套資金41,505.73萬(wàn)元。中央財(cái)政資金及地方政府配套資金在項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi)分批撥付，本次，北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金9,423.00萬(wàn)元。

2. "28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目

根據(jù)"極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝"專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專項(xiàng)2015年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)的通知》【ZX02[2015]018號(hào)】及其附件，北方華創(chuàng)承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)"28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目執(zhí)行期四年（2015年-2018年），項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金金額合計(jì)55,144.00萬(wàn)元，其中，中央財(cái)政核定資金總額16,098.00萬(wàn)元，地方政府配套資金總額19,997.00萬(wàn)元。中央財(cái)政資金及地方政府配套資金在項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi)分批撥付，本次，北方華創(chuàng)收到地方政府配套資金4,811.00萬(wàn)元。

3. "14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目

  根據(jù)"極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝"專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專項(xiàng)2016年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)的通知》 【ZX02[2016]008號(hào)】及其附件，北方華創(chuàng)微電子承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)"14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目執(zhí)行期四年（2016年-2019年），項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)資金金額合計(jì)67,842.30萬(wàn)元，其中，中央財(cái)政核定資金總額12,893.85萬(wàn)元，地方政府配套資金16,948.45萬(wàn)元。中央財(cái)政資金及地方政府配套資金在項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi)分批撥付，本次，北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金4,746.00萬(wàn)元。

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