上海啟動８英寸超越摩爾研發(fā)中試線
10日，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院建設(shè)的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式啟動，填補(bǔ)了我國微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗(yàn)生產(chǎn)線的空白。
隨著硅的工藝發(fā)展趨近于其物理瓶頸以及成本制約，業(yè)內(nèi)專家認(rèn)為，“超越摩爾”時(shí)代已經(jīng)來臨，傳統(tǒng)摩爾定律或?qū)⒚媾R顛覆，將不再局限于依靠尺寸改變?nèi)ネ七M(jìn)集成電路制程節(jié)點(diǎn)，材料、工藝、結(jié)構(gòu)等多維度的創(chuàng)新更加重要。
微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器，是一種新型傳感器，具有小體積、低成本、集成化、智能化等優(yōu)點(diǎn)，領(lǐng)跑傳感器飛速發(fā)展。
傳感器，位于整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)層，是數(shù)據(jù)采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。據(jù)《2016-2017年中國物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展年度報(bào)告》，目前我國約60%的傳感器依賴進(jìn)口，微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器幾乎全部依賴進(jìn)口。
中國科協(xié)副主席、上海微技術(shù)工業(yè)研究院創(chuàng)始人王曦院士認(rèn)為，要擺脫微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器對進(jìn)口的嚴(yán)重依賴、實(shí)現(xiàn)我國芯片產(chǎn)業(yè)的自主可控，當(dāng)務(wù)之急是要建自主的8寸研發(fā)中試線。
8英寸研發(fā)中試線廠長游家杰說，我國微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器科研實(shí)力并不弱，沒有開發(fā)出領(lǐng)先產(chǎn)品是因?yàn)橹性嚟h(huán)節(jié)出現(xiàn)了斷檔。
游家杰介紹，新建成的研發(fā)中試線，目前規(guī)定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達(dá)到5000片?！拔覀兛梢灾斡脩魪膸装倨缴锨漠a(chǎn)能需求，小規(guī)模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉(zhuǎn)移給大型代工廠，開始規(guī)模量產(chǎn)?！?/span>
據(jù)介紹，目前，研發(fā)中試線專注于微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器研發(fā)，未來將拓展至“超越摩爾”新型非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)的創(chuàng)新，例如，高壓器件、生物醫(yī)療晶片等。
來源:新華社
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