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SITRI國內首條8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線通線成功

致力于“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺上海微技術工業(yè)研究院（SITRI，以下簡稱“工研院”）運營的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品近日獲得驗證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。

　　當前以智能傳感終端、大數(shù)據(jù)、云計算、人工智能等為代表的信息技術正加速創(chuàng)新，萬物互聯(lián)智能化時代正在到來。其中“超越摩爾”技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎?？v觀我國超越摩爾領域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術驗證，積累了大量寶貴的知識和經(jīng)驗，但在真正放進產(chǎn)品進行實際應用時往往存在與生產(chǎn)平臺脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術鏈條較長，且其“非標”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線有一段比較長的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說對產(chǎn)線“嚴重依賴”。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國內傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據(jù)統(tǒng)計，科技成果經(jīng)過中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%?；诖吮尘埃ぱ性毫⒆銚碛袊鴥纫涣骷呻娐费邪l(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎的上海，志在實施超越摩爾計劃，爭取在這一領域與國際領先水平并行。作為創(chuàng)新型功能平臺，8英寸研發(fā)中試線落戶嘉定，填補了國內這一領域的空白。

　　研發(fā)中試線專注于“超越摩爾”產(chǎn)品與技術，擁有近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房，可以全面開展表面、體、3D微納加工技術以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)和量產(chǎn)。研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術特點部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術培訓、設備驗證等服務，為國內外客戶提供優(yōu)秀的全程服務。研發(fā)線的技術路線與設備選型參照了國內外主流代工廠的配置，提升了研發(fā)的成功率，有助于實現(xiàn)研發(fā)到量產(chǎn)無縫銜接。

　　“這次的通線成功標志著中國在MEMS及先進傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進入一個全新的快速發(fā)展的階段。未來研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點技術領域開展研發(fā)，進一步推動“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應用發(fā)展。”上海微技術工研院總裁楊瀟表示。

　　以全球領先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點，工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案，建設具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)群。

來源:集微網(wǎng)