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 鑫華半導(dǎo)體材料：讓國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)用上自己的原材料

       半導(dǎo)體材料是集成電路行業(yè)的上游，也是集成電路的基石。半導(dǎo)體行業(yè)里的制造環(huán)節(jié)和封裝階段都需要半導(dǎo)體材料，其對(duì)于材料的結(jié)構(gòu)、功能、純度、穩(wěn)定性、物理化學(xué)特性都有非常嚴(yán)苛的要求。因此，是否掌握半導(dǎo)體材料關(guān)乎到我國(guó)半導(dǎo)體戰(zhàn)略的成敗。目前來(lái)看，我國(guó)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化率非常低，全球半導(dǎo)體材料的市場(chǎng)份額基本上被歐美、日本及韓國(guó)企業(yè)把持。

        硅材料是集成電路制造最為關(guān)鍵的主要材料，在2017年以前，高端的電子級(jí)多晶硅100%依靠進(jìn)口。6英寸以上的硅片90%依靠進(jìn)口，8英寸硅片90%依靠進(jìn)口，12英寸硅片100%依靠進(jìn)口。要解決集成電路制造的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，必須解決大硅片的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，而要解決大硅片的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，就要解決電子級(jí)多晶硅的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，否則源頭還是依靠進(jìn)口。

        2015年12月11日，由國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(大基金)聯(lián)手保利協(xié)鑫投資20億元的鑫華半導(dǎo)體在江蘇徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)宣告開(kāi)工建設(shè)，在國(guó)內(nèi)建設(shè)用于研發(fā)、生產(chǎn)及銷售半導(dǎo)體級(jí)多晶硅及其他半導(dǎo)體原材料和電化產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)施，打造國(guó)內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線。2017年11月8日，鑫華半導(dǎo)體正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。鑫華半導(dǎo)體電子級(jí)多晶硅的自主生產(chǎn)，標(biāo)志著我國(guó)電子級(jí)多晶硅突破海外多年技術(shù)封鎖，填補(bǔ)國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)一項(xiàng)空白。2018年以來(lái)，鑫華半導(dǎo)體電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品已經(jīng)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)形成批量銷售，并且逐漸提供小批量產(chǎn)品向海外銷售。

        就電子級(jí)多晶硅而言，鑫華半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)317次電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)試驗(yàn)，用一年多時(shí)間，對(duì)629項(xiàng)技術(shù)、設(shè)備優(yōu)化改進(jìn)，以70%的國(guó)產(chǎn)設(shè)備，系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)，并且全球首創(chuàng)采用自動(dòng)化無(wú)接觸硅料處理系統(tǒng)。目前，鑫華半導(dǎo)體正在就相關(guān)技術(shù)和工藝申請(qǐng)國(guó)家專利。

        未來(lái)，隨著國(guó)產(chǎn)配套材料和裝備將持續(xù)提升、精細(xì)化操作水平也將不斷提高，鑫華半導(dǎo)體規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足國(guó)際國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。此外，為進(jìn)一步提升國(guó)內(nèi)集成電路用材料制造的國(guó)產(chǎn)化率，在國(guó)家支持下并與相關(guān)方面合作，協(xié)鑫將在全國(guó)布局半導(dǎo)體裝備制造和大硅片生產(chǎn)。通過(guò)引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)和自主研發(fā)，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體長(zhǎng)晶設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化;通過(guò)三到五年的努力，實(shí)現(xiàn)12英寸、8英寸及以下系列生產(chǎn)線，硅片總產(chǎn)能達(dá)到200萬(wàn)片/月以上，將大硅片生產(chǎn)能力提升到全球前三，具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。此外，協(xié)鑫將進(jìn)一步發(fā)揮自身優(yōu)勢(shì)，在硅系電子化學(xué)品領(lǐng)域發(fā)力。目前協(xié)鑫已經(jīng)具備1000t/年高純硅烷氣生產(chǎn)能力，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到電子級(jí)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)要求。協(xié)鑫還將陸續(xù)開(kāi)發(fā)其他硅系電子化學(xué)品，進(jìn)一步完善國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料供應(yīng)鏈。

來(lái)源:中國(guó)電子報(bào)