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近日，杭州青山湖微納技術(shù)研發(fā)開放平臺(tái)啟用儀式在青山湖微納智造小鎮(zhèn)舉行。

青山湖微納智造小鎮(zhèn)位于浙江省科研機(jī)構(gòu)創(chuàng)新基地——青山湖科技城，以特色工藝晶圓制造、芯片設(shè)計(jì)封裝測(cè)試、半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備制造和智能終端與物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用集成為產(chǎn)業(yè)方向。

今天啟用的這個(gè)平臺(tái)，是青山湖科技城在投用全省首條28納米12英寸芯片中試線基礎(chǔ)上，攜手中電?？荡罱ǖ奈⒓{技術(shù)研發(fā)開放平臺(tái)。

這個(gè)平臺(tái)有多酷？可以為芯片制造提供工藝支持，提升浙江的集成電路制造水平。

據(jù)悉，青山湖微納技術(shù)研發(fā)開放平臺(tái)是以12英寸特色高端芯片工藝研發(fā)為核心，覆蓋通用芯片設(shè)計(jì)和測(cè)試服務(wù)的開放性平臺(tái)，其主要功能包括電路設(shè)計(jì)、工藝研發(fā)、小批量產(chǎn)、測(cè)試分析等。目前，該平臺(tái)已擁有光刻機(jī)等60多臺(tái)套關(guān)鍵設(shè)備、2300平方米潔凈室、核心技術(shù)骨干專家170余人，可為集成電路企業(yè)提供技術(shù)研發(fā)、創(chuàng)新平臺(tái)和小批量量產(chǎn)、中試等服務(wù)。

自從2018年1月16日啟動(dòng)建設(shè)以來(lái)，青山湖微納智造小鎮(zhèn)已經(jīng)集聚了包含國(guó)家重大專項(xiàng)01專項(xiàng)、02專項(xiàng)在內(nèi)的31個(gè)總投資257億元的微納產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，初步形成芯片設(shè)計(jì)、制造、設(shè)備、封測(cè)、材料等完整產(chǎn)業(yè)鏈。這個(gè)平臺(tái)的開放啟用，將會(huì)為全省乃至全國(guó)的微納技術(shù)企業(yè)提供芯片設(shè)計(jì)、研發(fā)、流片、測(cè)試服務(wù)。這對(duì)于臨安來(lái)說，在集聚集成電路領(lǐng)域創(chuàng)新資源、推動(dòng)重大科技基礎(chǔ)設(shè)施融合發(fā)展上具有重要意義。

記者了解到，平臺(tái)在運(yùn)營(yíng)初期，會(huì)實(shí)施一定優(yōu)惠政策。比如，購(gòu)買集成電路相關(guān)服務(wù)，青山湖科技城企業(yè)可享受35%優(yōu)惠，浙江省內(nèi)企業(yè)可享受30%的優(yōu)惠，其他企業(yè)可享受15%的優(yōu)惠。

會(huì)上，中電?？导瘓F(tuán)作為開放平臺(tái)運(yùn)營(yíng)方，還和浙江大學(xué)、杭州電子科技大學(xué)、江蘇魯汶儀器有限公司等7家單位簽訂了合作協(xié)議。他們將與青山湖微納技術(shù)研發(fā)開發(fā)平臺(tái)共同構(gòu)建青山湖微納智造小鎮(zhèn)集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)，支撐小鎮(zhèn)基礎(chǔ)科研，打造活躍創(chuàng)新基地。