| 日經(jīng)：富士膠片和住友化學(xué)或于2021年供應(yīng)新型光刻膠 |
| 出自：集微網(wǎng) |
據(jù)日經(jīng)亞洲評(píng)論報(bào)道，富士膠片 (Fujifilm Holdings)和住友化學(xué)(Sumitomo Chemical)最早將于2021年開始供應(yīng)用于下一代芯片制造的光刻膠，該材料可能有助于讓智能手機(jī)及其他設(shè)備朝更小、更節(jié)能化的方向發(fā)展。 據(jù)悉，這兩家日本公司正在研制一種特殊的EUV（極紫外）光刻膠。目前，日本JSR和信越化學(xué)株式會(huì)社等控制了全球大約90%的EUV光刻膠市場(chǎng)。新廠商的加入預(yù)計(jì)將加劇EUV光刻膠市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)。 其中，富士膠片將投資45億日元(4260萬(wàn)美元)用于日本靜岡縣的生產(chǎn)設(shè)備，該廠最早將于明年開始量產(chǎn)。該公司表示，下一代光刻膠技術(shù)有助于減少殘留物，從而提高芯片的良率。 與此同時(shí)，住友化學(xué)計(jì)劃在2022財(cái)年之前，為大阪的一家工廠投入從研發(fā)到生產(chǎn)的全部光刻膠產(chǎn)能。 報(bào)道指出，該公司在傳統(tǒng)光阻劑市場(chǎng)上擁有巨大的份額，因而該公司已與一家大型制造商達(dá)成了一項(xiàng)初步供應(yīng)協(xié)議。 目前市場(chǎng)上最先進(jìn)的芯片采用5納米工藝，臺(tái)積電等廠商正致力于將3nm制程商業(yè)化，而解決EUV光刻膠的難題則是推進(jìn)芯片制造技術(shù)的最關(guān)鍵途徑。 |
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