3月8日，資本邦了解到，上海新陽發(fā)布公告，稱經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，ASML-1400光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。
上海新陽表示公司采購的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對(duì)加快193nm ArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加快落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
