南大光電接受機構(gòu)調(diào)研時表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目，目前已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設，主要先進光刻設備，如ASML浸沒式光刻機等已經(jīng)完成安裝并投入使用。2020年底，公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過下游客戶的使用認證，成為通過產(chǎn)品驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠，產(chǎn)業(yè)化取得關鍵突破，拿到國產(chǎn)光刻膠的首個訂單，實現(xiàn)小批量銷售。
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南大光電：目前ArF光刻膠項目已完成的產(chǎn)線設計產(chǎn)能為25噸
來源：同花順金融研究中心 2021-05-13
南大光電接受機構(gòu)調(diào)研時表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目，目前已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設，主要先進光刻設備，如ASML浸沒式光刻機等已經(jīng)完成安裝并投入使用。
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