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| 提高半導(dǎo)體制程潔凈度 HC管線用加熱器設(shè)計(jì)再創(chuàng)新 | ||
| 因應(yīng)先進(jìn)半導(dǎo)體制程對(duì)潔凈度、可靠度愈來(lái)愈嚴(yán)苛的要求，Heateflex近期推出新型HC管線用投入式加熱器，以及輸入歧管可360度旋轉(zhuǎn)的液體加熱器/混合器。此兩款產(chǎn)品體積小并完全采用鐵氟龍(PFA)浸濕表面，能使液體于最短時(shí)間內(nèi)達(dá)到設(shè)定溫度，且讓溫度均勻分布。 Heateflex總裁暨執(zhí)行長(zhǎng)JorgeRamirez表示，此兩款產(chǎn)品體積精巧，為該公司超高純度加熱設(shè)備產(chǎn)品線的新成員，可滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的復(fù)雜需求，包括高可靠性與制程純凈度。 據(jù)了解，新型HC管線用加熱器包含特殊的內(nèi)部裝置而毋須使用封膠，可增加產(chǎn)品可靠度。加熱管上的頂焊管帽可取代O型環(huán)，防止可能的微粒污染。此加熱器的核心為輕量、全PFA浸水面的特制加熱線圈。此專利加熱元件可對(duì)制程需求快速反應(yīng)，輕量的特性讓加熱器能均勻?qū)?，在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到設(shè)定的溫度。新型HC管線用加熱器提供各種規(guī)格，輸出范圍為2～10kW，使用電壓范圍為120～480V。 另一方面，新型HC管線用加熱器/混合器，將混合功能與一般管線用加熱器的功能與優(yōu)點(diǎn)結(jié)合，精巧體積可加熱并混合液體，適用于小空間廠房使用?；旌掀髂芤圆煌牧鲃?dòng)速率混合最多三種不同液體，而內(nèi)部擋板與加熱元件的結(jié)合能將液體均勻混合并加熱后輸出。HC加熱器/混合器的輸入歧管可360度旋轉(zhuǎn)，可滿足特殊的配管需求，并以垂直或水平的安裝方式節(jié)省空間。 來(lái)源:新電子 |
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