2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中試生產(chǎn)線工藝設(shè)備搬入儀式在新傲工廠舉行，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司首臺(tái)清洗設(shè)備入駐芯物科技！
據(jù)國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心負(fù)責(zé)人在致辭時(shí)介紹，12英寸先進(jìn)傳感器特色工藝研發(fā)中試平臺(tái)超過(guò)80%的設(shè)備均采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。
盛美半導(dǎo)體董事長(zhǎng)王暉先生在致辭時(shí)說(shuō)：“能夠獲得和芯物科技一起成長(zhǎng)的機(jī)會(huì)，我代表盛美向芯物科技表示衷心的感謝！在這個(gè)充滿機(jī)會(huì)與挑戰(zhàn)的時(shí)代，期待未來(lái)和芯物科技一起，開(kāi)發(fā)一些全球領(lǐng)先的差異化特色工藝和設(shè)備，把中國(guó)的MEMS做到世界前列！”
盛美本次進(jìn)駐芯物科技的設(shè)備為前道刷洗設(shè)備，該設(shè)備采用單片腔體對(duì)晶圓正背面依工序清洗，可進(jìn)行包括晶圓背面刷洗、晶圓邊緣刷洗、正背面二流體清洗等清洗工序。設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，穩(wěn)定性強(qiáng)，多種清洗方式靈活可選，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工藝。
