7月15日上午，由至純科技投資10億元建設(shè)的晶圓再生基地（一期）項(xiàng)目在新站高新區(qū)正式量產(chǎn)。該項(xiàng)目是國內(nèi)首個立項(xiàng)又最先量產(chǎn)的十二英寸晶圓再生工廠，項(xiàng)目量產(chǎn)填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈又一個空白。 合肥至微半導(dǎo)體有限公司，是至純科技旗下半導(dǎo)體晶圓再生和部件再生項(xiàng)目的載體，為集成電路企業(yè)十二英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務(wù)。同時，合肥至微建設(shè)的先進(jìn)制程濕法工藝技術(shù)驗(yàn)證平臺，能幫助用戶、裝備廠商、材料廠商，針對濕法工藝的開發(fā)和驗(yàn)證提供平臺，將對我國半導(dǎo)體晶圓等相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步和發(fā)展具有積極的推動作用?！綡FBTV政前方融媒體工作室 全媒體記者：龔正 邢
據(jù)悉，該項(xiàng)目投資約10億元，包括晶圓再生和半導(dǎo)體部件再生。其中，晶圓再生項(xiàng)目是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線，不僅填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈的空白，也為合肥打造“中國IC之都”提供了強(qiáng)勁支撐。
晶圓再生指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。至微項(xiàng)目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線。項(xiàng)目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過6億元。
近年來，合肥已成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著的城市之一，合肥至微項(xiàng)目的成功量產(chǎn)，將成為國內(nèi)最早具備12英寸晶圓再生及關(guān)鍵設(shè)備零部件再生能力的項(xiàng)目之一，這為我市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈添上重要一環(huán)，也為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的動力。
