三星電子與F&S Tech合作開發(fā)了可循環(huán)使用的拋光墊（CMP），后者被用于晶圓表面拋光，通常在使用后即被焚燒。
三星電子使其可循環(huán)使用的方法是：將CMP各部分進行拆分，對磨損部分進行修復(fù)并使其重新硬化到一定厚度，再重新組裝使用。該公司表示，重復(fù)使用的CMP就像新的一樣。
據(jù)BusinessKorea報道，自2021年初開始，F(xiàn)&S Tech應(yīng)三星電子的要求，將可重復(fù)使用的CMP應(yīng)用于實際的半導(dǎo)體生產(chǎn)線。
盡管到目前為止的供應(yīng)量不大，但這已使得三星電子成為半導(dǎo)體行業(yè)第一家使用可循環(huán)CMP的公司。兩家公司計劃繼續(xù)評估可循環(huán)CMP在半導(dǎo)體制造過程中的性能，并增加其使用。
數(shù)據(jù)顯示，全球CMP市場估計為每年1萬億韓元（約合8.7億美元）。報道指出，韓國嚴重依賴進口CMP，目前全國70%-80%的CMP是美國杜邦公司的產(chǎn)品。
