由SEMI中國和蕪湖市人民政府主辦的“SEMI 化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)論壇”于2021年9月23日在蕪湖華邑酒店舉行。
與硅材料相比，以InP、GaAs、SiC、GaN等代表的化合物半導(dǎo)體具有更寬的禁帶，電子漂移飽和速度高、介電常數(shù)小、導(dǎo)電性能好的特點，其本身具有的優(yōu)越性質(zhì)及其在微波功率器件領(lǐng)域應(yīng)用中潛在的巨大前景。在光電顯示、5G通訊、功率器件、新能源、現(xiàn)代交通領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。
SEMI全球副總裁、中國區(qū)總裁居龍在歡迎辭中表示，SEMI 是溝通半導(dǎo)體電子產(chǎn)業(yè)鏈的全球性行業(yè)協(xié)會，在過去的五十年中，SEMI維系全球會員，合作共贏，一直致力于國際標(biāo)準(zhǔn)的制定，成功搭建了半導(dǎo)體、平板顯示器、LED、光伏、MEMS、納米科技等產(chǎn)業(yè)國際交流合作創(chuàng)新的專業(yè)化平臺。
SEMI中國于2016年成立功率及化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)平臺，聯(lián)接寬禁帶半導(dǎo)體、5G通訊、光電顯示、新型功率器件，化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游國際企業(yè)共同參與，多年來舉辦功率及化合物半導(dǎo)體國際論壇。
蕪湖市委副書記、市長寧波在歡迎辭中表示，蕪湖市與SEMI中國的合作必將迸發(fā)出創(chuàng)新的火花，推動產(chǎn)業(yè)重點突破和整體提升，共同打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移集聚區(qū)、技術(shù)創(chuàng)新示范區(qū)和高層次人才特區(qū)，在長三角創(chuàng)新共同體建設(shè)中作出更大貢獻(xiàn)。
蕪湖市委書記單向前、市長寧波、市委秘書長張志宏等領(lǐng)導(dǎo)蒞臨參加本次論壇，并對SEMI半導(dǎo)體國際合作創(chuàng)新平臺蕪湖的揭牌開啟了SEMI和蕪湖攜手共進(jìn)、深度合作的新里程，表示衷心的祝賀。
會議上午場由蕪湖啟迪半導(dǎo)體有限公司董事長趙清先生主持，會議下午場由常州臻晶半導(dǎo)體有限公司CEO陸敏先生主持。來自蕪湖啟迪半導(dǎo)體、中微半導(dǎo)體、蘇州能訊、昂坤視覺、瞻芯電子、特思迪半導(dǎo)體、蘇州晶湛、珠海鼎泰芯源、南瑞聯(lián)研半導(dǎo)體、化合積電、老鷹半導(dǎo)體的專家參加本次論壇并做報告分享，產(chǎn)業(yè)界近300名嘉賓出席了本次會議。
啟迪半導(dǎo)體 董事長 趙清
蕪湖啟迪半導(dǎo)體有限公司董事長趙清就《蕪湖第三代半導(dǎo)體制造中心介紹及發(fā)展規(guī)劃》進(jìn)行了探討。趙清提到以第三代半導(dǎo)體性能優(yōu)良，廣泛應(yīng)用于新能源汽車、射頻、工控等領(lǐng)域為建設(shè)背景，國際大廠紛紛對此進(jìn)行布局。啟迪半導(dǎo)體專注于以SiC和GaN為代表的第三代半導(dǎo)體的工藝研發(fā)和產(chǎn)品代工，是目前國內(nèi)工序最全、綜合產(chǎn)能最大、代工周期最短的第三代半導(dǎo)體代工產(chǎn)線。
啟迪半導(dǎo)體 首席科學(xué)家 王敬
蕪湖啟迪半導(dǎo)體有限公司首席科學(xué)家王敬介紹《啟迪半導(dǎo)體碳化硅和氮化鎵工藝技術(shù)》。與傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料相比，碳化硅（SiC）在高溫、高頻、高功率和抗輻射器件等方面具有巨大的應(yīng)用潛力。蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心將具備從材料、芯片到模塊封裝與測試的整體化解決能力，成為蕪湖市第三代半導(dǎo)體科技創(chuàng)新和研發(fā)制造高地。
中微半導(dǎo)體 副總裁 郭世平
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司副總裁郭世平向大家闡述《化合物半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備技術(shù)及應(yīng)用發(fā)展》。中微半導(dǎo)體主要業(yè)務(wù)MOCVD設(shè)備業(yè)務(wù)已經(jīng)迎來爆發(fā)，設(shè)備在幫助LED芯片制造商提高產(chǎn)能的同時能夠有效地降低生產(chǎn)成本。產(chǎn)品可有效進(jìn)行質(zhì)量控制以及提高成本效益。未來中微也將需要進(jìn)一步開發(fā)新技術(shù)來實現(xiàn)更好的均勻性。
蘇州能訊 技術(shù)副總 裁裴軼
蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司技術(shù)副總裁裴軼介紹了《5G通訊時代的氮化鎵器件》。蘇州能訊致力于寬禁帶半導(dǎo)體氮化鎵電子器件技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化，為5G移動通訊、寬頻帶通信等射頻微波領(lǐng)域和工業(yè)控制、電源、電動汽車等電力電子領(lǐng)域等兩大領(lǐng)域提供高效率的半導(dǎo)體產(chǎn)品與服務(wù)。
昂坤視覺 CEO 馬鐵中
昂坤視覺（北京）科技有限公司CEO馬鐵中詳細(xì)探討了《化合物半導(dǎo)體用國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的一些進(jìn)展》。他介紹研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋了LED生產(chǎn)工藝測量和檢測的各個環(huán)節(jié)。EPI AOI檢測設(shè)備采用了公司自主設(shè)計的光學(xué)鏡頭和系統(tǒng)，配備了自動聚焦功能，可以實現(xiàn)對于翹曲偏缺陷的精準(zhǔn)檢測。
瞻芯電子 總經(jīng)理 張永熙
上海瞻芯電子科技有限公司總經(jīng)理張永熙詳細(xì)探討了《6英寸1200V SiC MOSFET工藝平臺的測試認(rèn)證》。上海瞻芯電子是一家聚焦于碳化硅（SiC）半導(dǎo)體領(lǐng)域的高科技芯片公司，經(jīng)歷深度開發(fā)，瞻芯電子掌握了國產(chǎn)6英寸碳化硅MOSFET晶圓，用于新能源車、光伏發(fā)電等新能源產(chǎn)業(yè)。
北京特思迪 CEO 劉泳灃
北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司CEO劉泳灃介紹《拋光技術(shù)在化合物半導(dǎo)體制造的應(yīng)用》。特思迪專注于半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)量表面加工設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。他表示所有的半導(dǎo)體襯底材料都需要經(jīng)過拋光，根據(jù)不同材料的特性，以及產(chǎn)業(yè)化的不同階段，需要選擇合適的拋光工藝和設(shè)備。
蘇州晶湛 陳宇超
蘇州晶湛半導(dǎo)體有限公司陳宇超詳細(xì)探討了《用于新型GaN功率器件的外延技術(shù)進(jìn)展》。GaN功率器件在諸多領(lǐng)域越來越受到歡迎，如消費電子、工業(yè)電子和數(shù)據(jù)中心以及能源、汽車和移動等領(lǐng)域。晶湛半導(dǎo)體致力于寬禁帶半導(dǎo)體關(guān)鍵材料——氮化鎵（GaN）外延材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，是硅上氮化鎵外延技術(shù)的開拓者。
鼎泰芯源 首席科學(xué)家兼總工程師 趙有文
珠海鼎泰芯源晶體有限公司首席科學(xué)家兼總工程師趙有文介紹了關(guān)于《磷化銦和銻化鎵襯底的量產(chǎn)技術(shù)、市場及發(fā)展趨勢》。GaSb襯底表面加工技術(shù)取得顯著進(jìn)展，表面質(zhì)量和平整度已接近GaAs和InP單晶襯底的水平，基本滿足紅外器件外延材料生長及器件面陣的要求。國內(nèi)中科院半導(dǎo)體所已實現(xiàn)2-4英寸GaSb單晶襯底的批量生產(chǎn)。
中電科46所 首席專家 王英明
中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所首席專家王英民就《碳化硅單晶材料研究進(jìn)展》進(jìn)行探討。他表示就工作頻率和開關(guān)功率來講，GaN功率器件在高頻中低功率范圍有競爭力。未來需要加快技術(shù)水平以及生產(chǎn)管理水平的提升，突破高效生長及高成品率產(chǎn)業(yè)化技術(shù)，快速降低材料成本，將會強有力的推動碳化硅應(yīng)用的快速發(fā)展。
南瑞聯(lián)研 SiC技術(shù)總監(jiān) 田亮
南瑞聯(lián)研半導(dǎo)體有限責(zé)任公司SiC技術(shù)總監(jiān)田亮介紹了《碳化硅功率器件在電網(wǎng)中的應(yīng)用》。隨著新能源電網(wǎng)建設(shè)期到來，電力電子產(chǎn)業(yè)將迎來發(fā)展，碳化硅功率器件應(yīng)用前景可期。SiC二極管近一年會在光伏boost和充電樁整流側(cè)大面積應(yīng)用，未來兩年SiC MOS也會在充電樁里大規(guī)模應(yīng)用。
化合積電 CEO 張星
化合積電（廈門）半導(dǎo)體材料有限公司CEO張星分享《超寬禁帶晶圓級和熱沉級金剛石襯底材料》。她在視頻演講中表示金剛石與氮化鎵GaN、氮化鋁AlN等第三代半導(dǎo)體材料相結(jié)合的研究具有很大的應(yīng)用價值?；戏e電致力于熱沉級金剛石研發(fā)和生產(chǎn)，不僅攻克了生長工藝中“高速率、低變形、高熱導(dǎo)率、大尺寸”等難點，更在磨拋工藝、切割工藝和金屬化工藝中都取得了較大突破。
老鷹半導(dǎo)體 首席科學(xué)家 莫慶偉
浙江老鷹半導(dǎo)體技術(shù)有限公司首席科學(xué)家莫慶偉視頻分享《VCSEL技術(shù)進(jìn)展及其在智能感測和車用激光雷達(dá)中的應(yīng)用》。他從VCSEL的發(fā)展歷程、技術(shù)優(yōu)勢、應(yīng)用趨勢展開討論。老鷹半導(dǎo)體從基礎(chǔ)性建設(shè)及研發(fā)起步，以技術(shù)為先導(dǎo)，致力于芯片的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售業(yè)務(wù)，老鷹半導(dǎo)體產(chǎn)品覆蓋了3D感測、傳統(tǒng)、處理和顯示的化合物半導(dǎo)體解決方案的提供商。
