萊西經(jīng)濟開發(fā)區(qū)消息,近日,山東萊西經(jīng)濟開發(fā)區(qū)管委會與上海衍梓智能科技有限公司薄膜沉積設備項目簽約儀式在萊西市行政辦公中心舉行。
據(jù)介紹,上海衍梓智能科技有限公司專注于半導體核心工藝——化學薄膜沉積設備制造生產(chǎn),其核心產(chǎn)品VPE反應爐已實現(xiàn)自主可控,解決了國內(nèi)半導體薄膜沉積行業(yè)“卡脖子”問題。萊西項目總投資5億元,投產(chǎn)后將成為該行業(yè)全國第三家、山東省首家接入芯片頭部企業(yè)生產(chǎn)線并實現(xiàn)量產(chǎn)的半導體薄膜沉積裝備公司。