滿載設(shè)備的運(yùn)輸車整裝待發(fā)，又一臺(tái)離子注入機(jī)設(shè)備駛向客戶現(xiàn)場(chǎng)，這是電科裝備今年交付的第三臺(tái)離子注入機(jī)。
過(guò)去一年，電科裝備累計(jì)新簽設(shè)備數(shù)量創(chuàng)下歷史新高，同比增長(zhǎng)近70%，在不同工藝、不同應(yīng)用領(lǐng)域多點(diǎn)開花并獲得重復(fù)訂單。為了滿足日益增長(zhǎng)的訂單需求，離子注入機(jī)團(tuán)隊(duì)拿出開局即沖刺的精氣神，早謀劃早部署，早行動(dòng)早落實(shí)。
離子注入機(jī)是集成電路芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，研制難度極大。為全力攻克這一難題，研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過(guò)成千上萬(wàn)次模擬實(shí)驗(yàn)，夜以繼日的在線驗(yàn)證，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，成功實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路制造領(lǐng)域全系列離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展。
面向未來(lái)，中國(guó)電科將以黨的二十大精神為指引，繼續(xù)瞄準(zhǔn)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，加快推動(dòng)離子注入裝備產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，為高水平科技自立自強(qiáng)作出新的更大貢獻(xiàn)。
