2月6日，心芯相連半導(dǎo)體先進(jìn)銅互連設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目臨港研發(fā)制造中心（以下簡(jiǎn)稱“心芯相連項(xiàng)目”）順利開(kāi)工，閔行開(kāi)發(fā)區(qū)臨港園區(qū)再添一“芯”。
上海心芯相連半導(dǎo)體技術(shù)有限公司是由新陽(yáng)硅密、遠(yuǎn)致星火、上海新陽(yáng)共同打造的半導(dǎo)體高端制造設(shè)備與工藝一體的核心供應(yīng)商，專(zhuān)注于前道大馬士革金屬互聯(lián)工藝的開(kāi)發(fā)，旨在通過(guò)自主研發(fā)打破長(zhǎng)期國(guó)外技術(shù)壁壘，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體先進(jìn)制成電鍍?cè)O(shè)備空白，完善國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體裝備供應(yīng)產(chǎn)業(yè)鏈。
閔行開(kāi)發(fā)區(qū)臨港園區(qū)位于臨港新片區(qū)“東方芯港”核心承載區(qū)，地理位置優(yōu)越，配套設(shè)施較為齊全。通過(guò)精準(zhǔn)對(duì)接、鏈?zhǔn)秸猩?，目前已初步形成半?dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體材料龍頭企業(yè)集聚態(tài)勢(shì)，成為“東方芯港”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)布局的關(guān)鍵一環(huán)。此次入駐智芯源一期的心芯相連項(xiàng)目專(zhuān)注于先進(jìn)銅互聯(lián)的研發(fā)和制造，而金屬互聯(lián)工序是集成電路生產(chǎn)制造中不可缺少的工藝環(huán)節(jié)，尤其是當(dāng)集成電路需要更復(fù)雜的器件結(jié)構(gòu)、更高的性能時(shí)，金屬互聯(lián)的工藝能力更顯重要，心芯相連項(xiàng)目無(wú)疑將進(jìn)一步堅(jiān)實(shí)臨港園區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。
目前，新片區(qū)已集聚集成電路企業(yè)超220家，簽約投資額超2200億元。集成電路板塊已然成為臨港新片區(qū)最亮眼的一張名片。臨港新片區(qū)用最好最開(kāi)放的政策組合拳，以資源供給和服務(wù)保障為支撐，把更多像心芯相連這樣的優(yōu)質(zhì)企業(yè)引進(jìn)臨港，讓臨港的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈既“全”又“尖”，更富成效地變“施工圖”為“實(shí)景畫(huà)”，力爭(zhēng)在十四五期間加速壯大集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模，全力把東方芯港建設(shè)成為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)最完整的地區(qū)。
