據(jù)萊伯泰科3月12日晚間發(fā)布的公告內(nèi)容，3月10日，北京萊伯泰科儀器股份有限公司正式公開發(fā)布針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的電感耦合等離子體三重四極桿質(zhì)譜儀LabMS 5000 ICP-MS/MS。
據(jù)介紹，LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)27MHz固態(tài)發(fā)生器，具有極高的系統(tǒng)穩(wěn)定性；使用MS/MS模式實(shí)現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準(zhǔn)去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準(zhǔn)確的超痕量分析結(jié)果；低背景惰性進(jìn)樣系統(tǒng)集成氣體稀釋和加氧功能，極大擴(kuò)展檢測應(yīng)用范圍；智能軟件平臺(tái)HiMass，適用于實(shí)驗(yàn)室的各種分析需求，極大提高工作效率。
LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于監(jiān)控半導(dǎo)體硅材料、第三代半導(dǎo)體材料、濕電子化學(xué)品、電子特氣、制程溶劑/光刻膠等的無機(jī)元素污染，已通過半導(dǎo)體行業(yè)SEMI S2、SEMI E78認(rèn)證，助力半導(dǎo)體芯片企業(yè)制造商控制產(chǎn)品質(zhì)量，提升良率。
萊伯泰科表示，新產(chǎn)品的發(fā)布進(jìn)一步豐富了公司分析測試儀器產(chǎn)品線，拓寬了公司產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域，將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力。目前，該新產(chǎn)品已取得訂單并實(shí)現(xiàn)發(fā)貨。
