近日，芯源微在接受機構(gòu)調(diào)研時表示，此前公司首臺浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機已順利運付客戶現(xiàn)場，并完成了各項工藝驗證及光刻機聯(lián)機產(chǎn)能驗證。機臺與國際主流光刻機聯(lián)機作業(yè)，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產(chǎn)驗證，數(shù)據(jù)均達到客戶量產(chǎn)指標。
據(jù)悉，浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機與去年年底發(fā)布，標志著公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對28nm及以上所有工藝節(jié)點的全覆蓋，即可實現(xiàn)全面國產(chǎn)替代。芯源微前道設(shè)計部總監(jiān)、浸沒式機臺主設(shè)計師程虎曾表示，作為芯源微自主開發(fā)的第三代機型，該設(shè)備具有高產(chǎn)能、高工藝能力、高潔凈度、高擴展性和易維護性等優(yōu)勢。
