據(jù)合肥產(chǎn)投集團(tuán)官微消息，近日，集成電路量檢測(cè)設(shè)備專業(yè)供應(yīng)商御微半導(dǎo)體，已順利完成數(shù)億元B輪融資。本輪融資將用于新產(chǎn)品開發(fā)及持續(xù)性研發(fā)投入，并拓展集成電路前道量檢測(cè)領(lǐng)域核心產(chǎn)品布局。
本輪融資由合肥產(chǎn)投集團(tuán)旗下合肥創(chuàng)新投、產(chǎn)投資本、國(guó)正公司聯(lián)合領(lǐng)投，老股東上?？苿?chuàng)（浦東科創(chuàng)）、中芯聚源、元禾厚望追加投資，安徽省鐵路基金、張江科投、諾華資本、永昌盛資本、基石資本、臨芯資本、正海資本、上海固信、創(chuàng)谷資本等多家機(jī)構(gòu)紛紛跟投。
據(jù)介紹，御微半導(dǎo)體是一家以技術(shù)和市場(chǎng)雙輪驅(qū)動(dòng)，為集成電路制造提供先進(jìn)裝備的高新技術(shù)企業(yè)。立足集成電路前道量檢測(cè)領(lǐng)域，聚焦集成電路光學(xué)量檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與系統(tǒng)集成，圍繞集成電路裝備自主化，已經(jīng)形成了掩模版檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、泛半導(dǎo)體檢測(cè)、晶圓測(cè)量四大領(lǐng)域六大類量檢測(cè)產(chǎn)品。其自主研發(fā)的掩模缺陷檢測(cè)、晶圓缺陷檢測(cè)及晶圓套刻測(cè)量設(shè)備，多項(xiàng)指標(biāo)均優(yōu)于國(guó)內(nèi)國(guó)際同類型競(jìng)品，并獲得了國(guó)內(nèi)多家頭部晶圓廠的認(rèn)可及批量訂單。
