據(jù)科技日?qǐng)?bào)消息，中國(guó)電子科技集團(tuán)旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司（簡(jiǎn)稱：電科裝備）已實(shí)現(xiàn)離子注入裝備28nm工藝制程全覆蓋，有力保障我國(guó)集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。
據(jù)悉，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局。
作為國(guó)內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率器件、傳感器等工藝器件，設(shè)備廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計(jì)流片量超2000萬(wàn)片，有力提升我國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。
