據(jù)報(bào)道，近日，長(zhǎng)三角一體化示范區(qū)（浙江嘉善）嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司發(fā)生工商變更，新增股東比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開(kāi)盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）；公司注冊(cè)資本從3.71億元增加到4.12億元。
據(jù)悉，2021年，以寧波芯恩為主體攜手掌握離子注入機(jī)技術(shù)的萬(wàn)業(yè)企業(yè)，成立嘉芯半導(dǎo)體，萬(wàn)業(yè)和寧波芯恩的持股比重分別為80%和20%。嘉芯半導(dǎo)體聚焦半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道，覆蓋包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等設(shè)備環(huán)節(jié)。
據(jù)了解，嘉芯半導(dǎo)體累計(jì)訂單已突破4.6億元。其中包括氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)等在內(nèi)的刻蝕設(shè)備，高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）等在內(nèi)的薄膜沉積設(shè)備，以及快速熱處理（RTP）、雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多個(gè)品類(lèi)。
