據增芯科技官微消息,3月11日,廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機搬入活動,標志著增芯項目順利進入調試投產準備階段。
據悉,增芯項目是省、市重點項目,打造國內第一條12英寸智能傳感器(MEMS)及特色工藝生產線,對增城乃至廣州、廣東集成電路產業(yè)發(fā)展具有重要意義。增芯項目占地面積達370畝,分兩期建設,此前披露消息顯示,一期批復投資70億元,總投資達370億元。根據規(guī)劃,將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產線,預計2024年6月通線。