8英寸硅單晶拋光片生產線在北京建成投產
2月27日,中國第一條可滿足0.25微米線寬集成電路要求的8英寸硅單晶拋光片生產線在北京有色金屬研究總院建成投產,它標志著中國深亞微米超大規(guī)模集成電路用硅單晶拋光片的生產達到世界先進水平。
據媒體報道,當時,是否具有滿足0.25微米線寬要求的硅拋光片,是能否批量生產目前流行的64M集成電路和試制256M集成電路樣片的關鍵。這條可滿足0.25微米線寬集成電路要求的8英寸硅單晶拋光片生產線,實現了我國集成電路基礎技術的重大突破,對滿足國內半導體器件市場需求,促進我國深亞微米集成電路的技術進步,實現我國信息產業(yè)的跨越式發(fā)展具有深遠的戰(zhàn)略意義。
而且值得關注的是,這個項目中國擁有完全的知識產權,是中關村自主知識產權歷史上的一個重要里程碑。
來源:科普中國
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