浙江首根自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)量產(chǎn)型集成電路用12英寸單晶硅棒出爐 |
出自:浙江在線 |
日前,一根長(zhǎng)1.5米、重達(dá)270公斤的12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅單晶棒經(jīng)過(guò)超高溫作業(yè)后在這里出爐,成為浙江省首根擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型集成電路用12英寸單晶硅棒。 單晶硅棒是支撐集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)功能材料,對(duì)工藝、材料和設(shè)備都有極高要求。單晶硅棒經(jīng)切割、研磨、清洗、拋光以及外延等20多道工序制備而成的硅拋光片或硅外延片,就是芯片的“地基”?!肮杵睆皆酱?,對(duì)材料和技術(shù)的要求就越高,制造難度也越大?!苯鹑疸㈦娮樱ㄡ橹荩┯邢薰径麻L(zhǎng)王敏文介紹,長(zhǎng)期以來(lái),全球5家硅片企業(yè)占據(jù)了整個(gè)12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅片市場(chǎng)97%以上的份額。到目前為止,我國(guó)集成電路用12英寸硅片正片幾乎全部依賴進(jìn)口。 “金瑞泓微電子(衢州)有限公司在硅片產(chǎn)業(yè)化的拉晶環(huán)節(jié)取得重大技術(shù)突破,補(bǔ)上了我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),也能有效推動(dòng)衢州市加快成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的集成電路材料產(chǎn)業(yè)基地。”衢州市經(jīng)信局相關(guān)負(fù)責(zé)人認(rèn)為,12英寸單晶硅棒的成功出爐,為下一步12英寸硅片的產(chǎn)業(yè)化奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),對(duì)完善我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈具有積極意義。 去年,投資34.6億元、年產(chǎn)180萬(wàn)片集成電路用12英寸硅片項(xiàng)目落戶衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū),項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年銷售收入逾15億元。 目前,金瑞泓微電子(衢州)有限公司正在進(jìn)一步拓寬半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,開(kāi)發(fā)高技術(shù)、高附加值的新一代半導(dǎo)體材料,重點(diǎn)發(fā)展汽車電子用芯片、電源管理IC芯片、集成電路用大硅片,努力實(shí)現(xiàn)12英寸集成電路用單晶硅片正片國(guó)產(chǎn)化“零突破”,填補(bǔ)該領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)空白。 |
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