SEMI預(yù)測(cè),2019 年硅片銷(xiāo)售額在全球半導(dǎo)體制造材料中占比將達(dá)37.29%,而12英寸硅片2018年占比為63.31%,成為硅片市場(chǎng)最主流的需求。在日前舉行的珠海集成電路論壇上,目前唯一國(guó)產(chǎn)12英寸大硅片量產(chǎn)企業(yè),上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司CEO邱慈云透露,公司28nm邏輯、3D-NAND存儲(chǔ)正片通過(guò)了長(zhǎng)江存儲(chǔ)認(rèn)證。

目前,全球前五大硅片供應(yīng)商分別為信越化學(xué)、SUMCO(勝高)、環(huán)球晶圓、Siltronic AG(世創(chuàng))和SK Siltron,分別占據(jù)全球市場(chǎng)份額的 29.8%、26.3%、17.1%、11.3%和 10.6%,把持全球超過(guò)95.1%的市場(chǎng)份額。
邱慈云表示,硅片核心技術(shù)史是一個(gè)挑戰(zhàn)極限的過(guò)程!比如在晶體需要完美的生長(zhǎng),無(wú)原生缺陷,這相當(dāng)于要求420公斤的硅單晶棒都要保持鉆石一般的完美結(jié)構(gòu),而在自然界當(dāng)中,一克拉(200毫克)的鉆石都并不多見(jiàn);在表面潔凈度方面,顆粒尺寸的要求要小于19nm,這只有PM2.5尺寸的1%大?。辉谄秸确矫?,要求在幾厘米的尺度上小于10nm的起伏,這相當(dāng)于要求上海到北京的1000公里的距離上,地面起伏小于30cm;在金屬雜質(zhì)方面,要求表面金屬含量低于1×10的七次方個(gè)原子/平方厘米,相當(dāng)于每1千萬(wàn)個(gè)硅原子中,不能出現(xiàn)1個(gè)金屬原子。
上海新昇成立于2014年6月,是國(guó)內(nèi)首個(gè)12英寸大硅片項(xiàng)目的承擔(dān)主體,也是目前唯一獲得國(guó)家重大項(xiàng)目支持的硅片公司,承擔(dān)了國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)核心工程之一的“40-28 納米集成電路制造用12英寸 硅片”項(xiàng)目。2019年,上海新昇第100萬(wàn)片產(chǎn)品下線,國(guó)內(nèi)外累計(jì)客戶已達(dá)30多家。
據(jù)邱慈云介紹,目前上海新昇產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到了15萬(wàn)片/月(40nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)10萬(wàn)片/月,28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)5萬(wàn)片/月)。同時(shí),二期項(xiàng)目所需設(shè)備已開(kāi)始搬入,二期規(guī)劃產(chǎn)能為30萬(wàn)片/月(主要覆蓋14nm及以上工藝節(jié)點(diǎn))?,F(xiàn)有的廠區(qū)可容納60萬(wàn)片/月的產(chǎn)能。此外,上海新昇還擁有可容納100萬(wàn)片/月產(chǎn)能的擴(kuò)建用地。
上海新昇隸屬于上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán),而上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)公司另外還擁有新傲科技、Okmetic兩家控股子公司,同時(shí)也是法國(guó)半導(dǎo)體材料公司Soitec大股東之一。Soitec 目前占全球80%以上SOI硅片市場(chǎng) ,Okmetic主要產(chǎn)品為用于MEMS、傳感器、模擬電路及分離器件制造所需的拋光片和 SOI 硅片,新傲科技則擁有國(guó)內(nèi)第一條 SOI 生產(chǎn)線,是中國(guó)SOI 材料生產(chǎn)基地。這一切,構(gòu)成了上海新昇登陸科創(chuàng)板的資本。 |