衛(wèi)光科技六吋線二期高端功率器件項(xiàng)目首臺重點(diǎn)工藝設(shè)備移入
近日，西安衛(wèi)光科技有限公司（衛(wèi)光科技）六吋線二期高端功率器件項(xiàng)目首臺重點(diǎn)工藝設(shè)備超薄晶圓減薄機(jī)DFG8540移入微晶微電子公司生產(chǎn)線。該設(shè)備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用于6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時可保證硅片的平整度。設(shè)備的引入將在推進(jìn)微晶微新產(chǎn)品工藝研發(fā)、新品研制等方面發(fā)揮引領(lǐng)作用。
截至目前，六吋線二期項(xiàng)目中已有2臺輔助設(shè)備奧林巴斯顯微鏡移入生產(chǎn)線，本次重點(diǎn)工藝設(shè)備減薄機(jī)DFG8540的順利移入，具有里程碑意義，同時標(biāo)志著六吋線二期項(xiàng)目的全面有序開展。微晶微電子公司全體員工，眾志成城、攻堅克難，繼續(xù)擼起袖子加油干，為確保填平補(bǔ)齊項(xiàng)目、二期項(xiàng)目的順利完成；為公司產(chǎn)品高質(zhì)量發(fā)展進(jìn)一步拓展平臺奠定基礎(chǔ)，贏得主動。
西安衛(wèi)光科技有限公司（國營第八七七廠），成立于2007年元月，由原西安衛(wèi)光電工廠整體改制而來，隸屬于陜西電子信息集團(tuán)。公司位于西安高新產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)電子工業(yè)園，占地面積14.7萬平方米，現(xiàn)有員工1000余人。是我國低頻大功率半導(dǎo)體器件重點(diǎn)骨干企業(yè)和軍用元器件研制、生產(chǎn)定點(diǎn)企業(yè)，也是我國最早生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的專業(yè)企業(yè)之一。
來源:衛(wèi)光科技
Copy right?2007：All Reserved. 西安集成電路設(shè)計專業(yè)孵化器有限公司
辦公地址：陜西省西安市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科技二路77號光電園二層北 辦公電話：029-88328230 傳真：029-88316024
陜ICP備 19002690號
陜公安網(wǎng)備 61019002000194號