2021年7月13日，在上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司成立三周年之際，經(jīng)過全體精測(cè)人的努力拼搏，我們迎來了屬于自己的榮耀時(shí)刻——國內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量設(shè)備（OCD）與國內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）順利出機(jī)。上海市、青浦區(qū)各級(jí)領(lǐng)導(dǎo)，股東代表，重要客戶代表，精測(cè)電子集團(tuán)董事長蒞臨參加此次出機(jī)儀式，各方均對(duì)上海精測(cè)半導(dǎo)體過往的成績(jī)給予誠摯肯定，對(duì)未來的發(fā)展表達(dá)殷切期許。
傅新華副主任代表上海市集成電路產(chǎn)業(yè)主管部門向上海精測(cè)半導(dǎo)體正式向國內(nèi)一流先進(jìn)制程晶圓廠推出自主研發(fā)的量測(cè)設(shè)備表示祝賀。他指出集成電路作為數(shù)字經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)，支撐信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。集成電路設(shè)備是工藝開發(fā)的基礎(chǔ)，希望上海精測(cè)半導(dǎo)體進(jìn)一步在上海集聚資源，加大研發(fā)投入，加快核心技術(shù)攻關(guān)，盡快成長為全球量測(cè)設(shè)備的龍頭企業(yè)。希望青浦區(qū)繼續(xù)支持上海精測(cè)的發(fā)展，做好屬地服務(wù)工作，共同支持上海精測(cè)在青浦建設(shè)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)總部及高端量測(cè)設(shè)備制造基地。希望各方能夠總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，立足當(dāng)前，著眼長遠(yuǎn)，繼續(xù)增強(qiáng)工作的積極性、主動(dòng)性、創(chuàng)造性，為上海集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展做出新的貢獻(xiàn)。
倪向軍副區(qū)長代表青浦區(qū)向上海精測(cè)半導(dǎo)體國內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式OCD設(shè)備與國內(nèi)唯一12寸Review SEM設(shè)備順利出機(jī)表示祝賀。她回顧，三年前我們?cè)谶@里共同見證上海精測(cè)半導(dǎo)體的成立、展望半導(dǎo)體檢測(cè)裝備行業(yè)的未來。經(jīng)過三年的技術(shù)積累與奮力拼搏，三年后的今天，我們?cè)俅尉墼谝黄?，迎接上海精測(cè)半導(dǎo)體出機(jī)儀式的重要時(shí)刻。青浦區(qū)營商環(huán)境已然就緒，將持續(xù)發(fā)展軟信產(chǎn)業(yè)，助力精測(cè)，助力青浦，助力上海！
馬駿總經(jīng)理表示：不積跬步無以至千里。上海精測(cè)半導(dǎo)體從成立之初就始終秉承著核心組件自研的原則，在半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域不斷向高精尖的領(lǐng)域不斷發(fā)展；與此同時(shí)，也在不斷擴(kuò)大產(chǎn)品線，并將在不遠(yuǎn)的將來逐步覆蓋半導(dǎo)體前道檢測(cè)應(yīng)用的主要技術(shù)領(lǐng)域。上海精測(cè)半導(dǎo)體一定會(huì)在技術(shù)前沿的道路上越走越穩(wěn)，越走越遠(yuǎn)。
國內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式
光學(xué)線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)
（OCD）
12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)(OCD)是該類型的國內(nèi)首臺(tái)機(jī)臺(tái)，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測(cè)，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測(cè)量。EPROFILE 300FD測(cè)量系統(tǒng)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測(cè)頭、對(duì)焦對(duì)位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機(jī)臺(tái)。
配套EPROFILE 300FD, 上海精測(cè)還同時(shí)發(fā)布了新一代電磁場(chǎng)仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0; 該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運(yùn)算服務(wù)器上進(jìn)行OCD建模與庫匹配，可以在獲取復(fù)雜三維納米結(jié)構(gòu)光譜變化信息后，實(shí)時(shí)高速的對(duì)于納米結(jié)構(gòu)的各個(gè)維度精確值進(jìn)行計(jì)算。
EPROFILE 300FD和J_ProfilerTM V3.0將為國內(nèi)高節(jié)點(diǎn)產(chǎn)線提供穩(wěn)定、實(shí)時(shí)、高速的量測(cè)解決方案。
國內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)
電子束晶圓
缺陷復(fù)查設(shè)備
（Review SEM）
12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）是上海精測(cè)半導(dǎo)體的另一項(xiàng)主力產(chǎn)品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關(guān)鍵核心部件均為自主設(shè)計(jì)，自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，并用了近兩年的時(shí)間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產(chǎn)化供應(yīng)鏈。此次出廠的機(jī)臺(tái)配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動(dòng)缺陷檢測(cè)與分類算法，將進(jìn)一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。
