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淞南發(fā)布官微消息，3月2日，上海寶山區(qū)淞南鎮(zhèn)與上海市超精密運(yùn)動控制與檢測工程研究中心共同舉行框架合作協(xié)議簽約儀式。

據(jù)介紹，曉峰教授領(lǐng)銜的復(fù)旦大學(xué)半導(dǎo)體裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目是2021年寶山復(fù)旦科創(chuàng)中心首批落地的8個(gè)重大創(chuàng)新項(xiàng)目之一，依托上海市超精密運(yùn)動控制與檢測工程研究中心，聚焦于半導(dǎo)體裝備及其它高端裝備核心部件的技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化。