賽微電子發(fā)布公告稱，北京賽微電子股份有限公司（以下簡稱“公司”）控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡稱“賽萊克斯北京”）代工制造的某款 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)，簡稱為微機(jī)電系統(tǒng)）氣體傳感芯片通過了客戶驗證，該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，賽萊克斯北京啟動首批 MEMS 氣體傳感芯片 8 英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。
MEMS 氣體傳感芯片基于 MEMS 工藝制造，具備功耗低、可靠性高的特點，可用于制備各類 MEMS 氣體傳感器，可廣泛應(yīng)用于家用環(huán)境監(jiān)測、室內(nèi)新風(fēng)系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領(lǐng)域。
近年來，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類 MEMS 器件的生產(chǎn)訣竅，努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等各領(lǐng)域客戶，尤其是中國本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的 MEMS 工藝開發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動公司在本土形成和提升自主可控的 MEMS 生產(chǎn)制造能力，加速國產(chǎn)替代。
